R21SL 系列膜(mó)片式減(jian)壓器,輸(shu)出壓力(li)穩定,特(tè)别适用(yong)于氣體(tǐ)分析儀(yí)器、各種(zhong)高純氣(qi)體、腐蝕(shí)性氣體(ti)
及有毒(dú)氣體。
結(jie)構特點(diǎn)
單級式(shi)減壓結(jie)構
膜片(pian)與母體(tǐ)采用硬(yìng)密封形(xing)式
母體(tǐ)接口螺(luó)紋:1/4" NPT(F)
安全(quan)壓力:1.5 倍(bei)的最大(dà)輸入壓(ya)力
适用(yong)溫度:-40°C ~ 74°C (-40°F ~ 165°F)
洩(xiè)漏率:2 x 10
-8 atm.cc/sec He
CV 值(zhí):0.14
重量:0.9 kg (2.0 lbs)
材(cái)質
母體(ti):316L
閥座:PCTFE, PTFE, Vespel
®
膜(mo)片:316L, Hastelloy
®
适用(yòng)範圍
半(bàn)導體制(zhì)程
實驗(yan)室
氣相(xiàng)分析
測(cè)試儀表(biao)
石油化(hua)學工業(yè)