U53系列減壓(ya)器适用于高(gāo)純氣體應用(yong)，采用内部無(wú)螺紋、非焊接(jie)膜片結構。膜(mo)片和閥體的(de)密封采用
了(le)硬密封的設(she)
計，降低洩漏(lòu)率，同時提高(gāo)了安全性和(hé)使用壽命。
結(jié)構特點
316L不鏽(xiu)鋼母體
膜片(piàn)式硬密封，洩(xie)漏率低
可采(cai)用面闆安裝(zhuang)和後座安裝(zhuang)
壓力表标準(zhǔn)連接：1/4" FRS(M), 可選1/4" FRS(F)
内(nei)部電解抛光(guāng)
專爲高純淨(jing)應用生産制(zhi)造
高潔淨的(de)組裝和包裝(zhuāng)适用于高潔(jie)淨度的半導(dǎo)體行業🔞
使用(yòng)壽命長
100%氦氣(qi)測試
材質
母(mu)體：316L, Hastelloy®
閥座：PCTFE
膜片(piàn)：Elgiloy®, Hastelloy
上蓋：316, Hastelloy
®
功能特(te)性
流量：Cv=0.054
母體(tǐ)洩漏率：2×10
-8 atm cc/sec He
閥座(zuò)洩漏率：4×10
-8 atm cc/sec He
設計(jì)驗證壓力：最(zuì)大額定壓力(lì)的150%
設計爆破(po)壓力：最大額(é)定壓力的400%
工(gong)作條件
最大(da)的入口壓力(lì)：300 psi (20 bar)
出口壓力：0~30 psi (2 bar)
溫(wen)度：-18℃~60℃ (0°F~140°F)
流道表面(miàn)
标準：Ra 20 µin
内部容(róng)積
9.3 cc
