U22系列(lie)單級減壓(ya)器适用于(yú)高純氣體(tǐ)、非腐蝕性(xìng)氣體、腐蝕(shí)性氣體和(hé)有毒氣體(ti)。膜片和閥(fá)體的密封(feng)
采用了硬(yìng)密封
的設(shè)計，降低洩(xiè)漏率，同時(shi)提高了安(an)全性和使(shi)用壽🌈命🏃。
結(jié)構特點
316L不(bu)鏽鋼母體(tǐ)
膜片式硬(yìng)密封，洩漏(lòu)率低
可采(cai)用面闆安(an)裝和後座(zuò)安裝
壓力(lì)表标準連(lián)接：1/4" FRS(M), 可選1/4" FRS(F)
内(nèi)部電解抛(pao)光
高潔淨(jìng)的組裝和(he)包裝适用(yong)于高潔淨(jing)度的半導(dǎo)體🔴行業
使(shǐ)用壽命長(zhang)
100%氦氣測試(shì)
材質
母體(ti)：316L
閥座：PCTFE, Vespel®
膜片(pian)：316L
上蓋：316
功能(néng)特性
流量(liang)：Cv=1.1
母體洩漏(lou)率：2×10
-8 atm cc/sec He
閥座洩(xie)漏率：4×10
-8 atm cc/sec He
設計(jì)驗證壓力(lì)：最大額定(ding)壓力的150%
設(she)計爆破壓(yā)力：最大額(e)定壓力的(de)400%
工作條件(jian)
最大的入(rù)口壓力：500 psi (35 bar), 3000 psi (206 bar)
出(chū)口壓力：0~25 psi (1.7 bar),0~50 psi (3bar), 0~100 psi (7 bar),0~250 psi (17 bar)
溫(wēn)度：-40℃~74℃ (-40°F~165°F)
流道表(biǎo)面
标準：Ra 20µin
可(kě)選：Ra 10µin
内部容(róng)積：22.6cc
