U53系列(lie)減壓器适(shi)用于高純(chún)氣體應用(yong)，采用内部(bù)無螺紋、非(fēi)焊接膜片(pian)結構。膜片(pian)和閥體的(de)密封采用(yòng)
了硬密封(fēng)的設
計，降(jiang)低洩漏率(lü)，同時提高(gāo)了安全性(xing)和使用壽(shòu)命。
結構特(te)點
316L不鏽鋼(gang)母體
膜片(piàn)式硬密封(feng)，洩漏率低(di)
可采用面(mian)闆安裝和(hé)後座安裝(zhuang)
壓力表标(biāo)準連接：1/4" FRS(M), 可(ke)選1/4" FRS(F)
内部電(dian)解抛光
專(zhuān)爲高純淨(jing)應用生産(chǎn)制造
高潔(jié)淨的組裝(zhuāng)和包裝适(shi)用于高潔(jié)淨度的半(bàn)導體行業(ye)
使用壽命(mìng)長
100%氦氣測(cè)試
材質
母(mu)體：316L, Hastelloy®
閥座：PCTFE
膜(mó)片：Elgiloy®, Hastelloy
上蓋：316, Hastelloy
®
功(gōng)能特性
流(liu)量：Cv=0.054
母體洩(xie)漏率：2×10
-8 atm cc/sec He
閥座(zuò)洩漏率：4×10
-8 atm cc/sec He
設(she)計驗證壓(ya)力：最大額(é)定壓力的(de)150%
設計爆破(pò)壓力：最大(dà)額定壓力(li)的400%
工作條(tiao)件
最大的(de)入口壓力(li)：300 psi (20 bar)
出口壓力(lì)：0~30 psi (2 bar)
溫度：-18℃~60℃ (0°F~140°F)
流道(dào)表面
标準(zhun)：Ra 20 µin
内部容積(jī)
9.3 cc
